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通过燃烧方法将VOCS转化为二氧化碳和水，称为燃烧净化法，其化学作用主要是燃烧氧化和高温下的热降解作用。此方法适用于治理可燃的或在高温情况下可降解的有害气体，并广泛应用于化工、喷漆、绝缘材料等行业的生产装置中所排出的VOCS废气。
燃烧法可分为直接燃烧、热力燃烧和催化燃烧3种，其工艺流程和性能分别见图4-1和表4-1。
燃烧法的优点是去除效率高，缺点是直燃烧法容易发生爆的危险、浪费热量且易产生二次污染，热力燃烧法运行费用较高，催化燃烧法催化剂易中毒，对进气组分要求较严格，且催化剂需要定期更换。
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表4-1燃烧法工艺性能
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燃烧工艺
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直接燃烧
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热力燃烧
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催化燃烧
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适用范围
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较高浓度或较高热值
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低浓度
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低浓度
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燃烧温度/℃
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＞1100
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700～870
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300～450
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处理效率
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＞95
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＞95
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＞95
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剩下产物
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CO2、H2O
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CO2、H2O
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CO2、H2O
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投资
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较低
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低
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高
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运行费用
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低
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高
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较低
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其余
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易爆、热量浪费且易产生二次污染
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回收热
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催化剂易中毒，进行组分要求较严格
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